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二手翻新設(shè)備

• 光刻機(jī)

• 刻蝕設(shè)備

• 薄膜設(shè)備

• 量測設(shè)備

• 離子注入設(shè)備

• 涂膠顯影機(jī)

黃光區(qū)設(shè)備

• 電子束光刻

• 接近接觸式光刻

• 投影式光刻

• 涂膠顯影

• 激光直寫設(shè)備

刻蝕工藝設(shè)備

• ULVAC 刻蝕設(shè)備

薄膜工藝設(shè)備

• Picosun原子層沉積設(shè)備

• ULVAC PECVD薄膜設(shè)備

• ULVAC PVD蒸發(fā)設(shè)備

• ULVAC PVD濺射設(shè)備

清洗/濕法設(shè)備

• 單片式兆聲清洗機(jī)

• Semsysco晶圓電鍍?cè)O(shè)備

• 去膠剝離機(jī)

• 清洗機(jī)

其他制程設(shè)備

• PVA TePla 等離子去膠機(jī)

• Logitech CMP化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

• Unitemp RTP、RTA

• YES烘箱

檢測設(shè)備

• Bruker系列

• Hitachi系列掃描電鏡

• 德國cyber膜厚測試系統(tǒng)