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二手翻新設備

• 光刻機

• 刻蝕設備

• 薄膜設備

• 量測設備

• 離子注入設備

• 涂膠顯影機

黃光區(qū)設備

• 電子束光刻

• 接近接觸式光刻

• 投影式光刻

• 涂膠顯影

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刻蝕工藝設備

• ULVAC 刻蝕設備

薄膜工藝設備

• Picosun原子層沉積設備

• ULVAC PECVD薄膜設備

• ULVAC PVD蒸發(fā)設備

• ULVAC PVD濺射設備

清洗/濕法設備

• 單片式兆聲清洗機

• Semsysco晶圓電鍍設備

• 去膠剝離機

• 清洗機

其他制程設備

• PVA TePla 等離子去膠機

• Logitech CMP化學機械拋光機

• Unitemp RTP、RTA

• YES烘箱

檢測設備

• Bruker系列

• Hitachi系列掃描電鏡

• 德國cyber膜厚測試系統(tǒng)