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黃光區(qū)設(shè)備

• 電子束光刻

• 接近接觸式光刻

• 投影式光刻

• 涂膠顯影

• 激光直寫設(shè)備

刻蝕工藝設(shè)備

• ULVAC 刻蝕設(shè)備

薄膜工藝設(shè)備

• Picosun原子層沉積設(shè)備

• ULVAC PECVD薄膜設(shè)備

• ULVAC PVD蒸發(fā)設(shè)備

• ULVAC PVD濺射設(shè)備

清洗/濕法設(shè)備

• 單片式兆聲清洗機

• Semsysco晶圓電鍍設(shè)備

• 去膠剝離機

• 清洗機

其他制程設(shè)備

• PVA TePla 等離子去膠機

• Logitech CMP化學(xué)機械拋光機

• Unitemp RTP、RTA

• YES烘箱

后道設(shè)備

• MPI旺矽系列產(chǎn)品

• 先進封裝設(shè)備

• west bond鍵合設(shè)備

檢測設(shè)備

• Bruker系列

• Hitachi系列掃描電鏡

• 德國cyber膜厚測試系統(tǒng)