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產(chǎn)品特性 / Product characteristics

• 除單腔之外，另可搭載有磁場ICP（ISM）或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應(yīng)多種刻蝕工藝

• 為實現(xiàn)制程再現(xiàn)性及安定性搭載了星型電極及各種調(diào)溫技能

• 擁有簡便的維護(hù)構(gòu)造，實現(xiàn)downtime最短化，提供清洗、維護(hù)及人員訓(xùn)練服務(wù)等綜合性的售后服務(wù)體制

• 專門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會提供萬全的工藝支持體制

產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

• 化合物（LED或LD、高頻器件）或Power device（IGBT配線加工、SiC加工）

• 金屬配線或?qū)娱g絕緣膜（樹脂類）、門電極加工工藝

• 強(qiáng)電介質(zhì)材料或貴金屬刻蝕

• 磁性體材料加工