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ULVAC 愛發(fā)科濺射設(shè)備：SME-200
全自動(dòng)多工藝對應(yīng)用最大搭載7個(gè)工藝腔的濺射設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)多種類材料濺射，諸如高溫成膜（PZT等）、高精度側(cè)壁成膜、光學(xué)膜、化合物膜、合金膜等。枚葉式設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)多工序?yàn)R射，同時(shí)有效抑制濺射中產(chǎn)生的高溫。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特性 / Product characteristics
• Φ200mm可搬運(yùn)基板
• 作為處理室，陣容多樣的模塊
• 介質(zhì)用模塊
• 高溫成膜模塊
• 精密分布模塊
• 蝕刻模塊
產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
• 電子零件
• MEMS
• Power Device
• LED
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