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ULVAC 愛發(fā)科濺射設(shè)備：SIV-500
用于particle抑制的通過型豎直濺射，可實現(xiàn)基板往復或line式搬送，多用于SiO、SiN等光學薄膜濺射，亦可用于金屬濺射。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特性 / Product characteristics
• 豎直搬送基板低particle產(chǎn)生
• 省空間設(shè)計
• 形成膜條件多腔體單獨控制
• 根據(jù)成膜物質(zhì)種類制定專用陰極
產(chǎn)品應用 / Product application
• LED
• MEMS
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