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ULVAC 愛發(fā)科蒸發(fā)設(shè)備Ei系列 ei-5z
Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對(duì)應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備?？赏ㄟ^操作面板進(jìn)行集中控制，實(shí)現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動(dòng)化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)
蒸發(fā)材料：金屬，ITO，二氧化硅等材料
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特性 / Product characteristics
• 金屬，合金，非金屬，化合物等材料的高品質(zhì)蒸發(fā)鍍膜
• 鍍膜精度高，可達(dá)10E-10m
• 蒸發(fā)鍍膜的純度高，附著力強(qiáng)
• 鍍膜的均勻性好，重復(fù)性優(yōu)異
• 配置離子源進(jìn)行表面處理
• 配置熱阻蒸發(fā)，省材料
• 上位通信，材料掃描功能
• C2～12inch，不定型片，方片蒸發(fā)
產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
• 功率器件
• LED
• 光通信/傳感器
• LD
• 高校及研究所等
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