0769-2223 1935
微信公眾號(hào)
Hitachi SEM Regulus系列日立超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的最佳性能。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)
沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的最佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運(yùn)用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*
產(chǎn)品規(guī)格
|
項(xiàng)目 |
Regulus 8100 |
Regulus 8220 |
Regulus 8230 |
Regulus 8240 |
||
|
二次電子分辨率 |
0.7 nm |
0.6 nm（加速電壓 15 kV） |
||||
|
0.8 nm |
||||||
|
著陸電壓 |
0.1～2 kV |
0.01～20 kV |
||||
|
放大倍率 |
20～1,000,000倍*4 |
20～2,000,000倍*4 |
||||
|
樣 品 臺(tái) |
樣品臺(tái)控制 |
3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） |
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
|||
|
移 動(dòng) 范 圍 |
X |
0～50 mm |
0～50 mm |
0～110 mm |
0～110 mm |
|
|
Y |
0～50 mm |
0～50 mm |
0～110 mm |
0～80 mm |
||
|
R |
360° |
|||||
|
T |
-5～70° |
|||||
|
Z |
1.5～30 mm |
1.5～40 mm |
||||
|
再現(xiàn)性 |
- |
- |
- |
±0.5 µm以下含 |
||
|
±0.5 µm |
||||||
上一篇
返回列表
